-ая, -ое.
а) Очень, чрезвычайно чистый.
Сверхчи́стый вакуум.
С-ая комната.
С-ая вода.
б) отт. Не содержащий в своём химическом составе ничего постороннего, без примеси.
Сверхчи́стый металл.
С-ое вещество.
Сверхчи́стый материал.